Az 1980-as évek közepén Beklemyshev, Allrn és más tudósok a lézertechnológiát és a tisztítási technológiát kombinálták a gyakorlati munkához, és ezzel kapcsolatos kutatásokat végeztek. Azóta született meg a lézeres tisztítás technikai koncepciója (Laser Cleanning). Köztudott, hogy a szennyező anyagok és a szubsztrátok kapcsolata A kötőerő kovalens kötésre, kettős dipólusra, kapilláris hatásra és van der Waals erőre oszlik. Ha ez az erő leküzdhető vagy megsemmisíthető, akkor a fertőtlenítés hatása megvalósul. A lézeres tisztítás olyan lézersugarak használata, amelyek nagy energiasűrűséggel, szabályozható irányokkal és erős konvergencia-képességgel rendelkeznek, így a szennyező anyagok és az aljzat közötti kötőerő megsemmisül, vagy a szennyező anyagok közvetlenül elpárolognak a szennyeződések fertőtlenítése és csökkentése érdekében. A kötési szilárdság a mátrixszal, majd elérje a munkadarab felületének tisztításának hatását. Amikor a munkadarab felületén lévő szennyeződések elnyelik a lézer energiáját, hevítés után gyorsan elpárolognak vagy azonnal kitágulnak, hogy legyőzzék a szennyeződések és a hordozó felülete közötti erőt. A megnövekedett fűtési energia miatt a szennyező részecskék vibrálnak és lehullanak az aljzat felületéről. A teljes lézeres tisztítási folyamat nagyjából osztva 4 szakaszból áll, nevezetesen lézeres párologtatás és a bomlási, lézeres sztrippelő, hőtágulása szennyező részecskék, hordozó felületi rezgés és a szennyezőanyag-elválasztása. Természetesen, ha alkalmazása lézeres tisztítási technológiát, akkor is figyelni, hogy a lézer tisztítás küszöböt az objektumot meg kell tisztítani, és válassza ki a megfelelő lézerhullámhossz elérni a legjobb tisztító hatást. Lézeres tisztítás lehet változtatni a szemcseméret, és orientációja a szubsztrátum felületének a felület megsértése nélkül a szubsztrátum, és is szabályozhatja a felületi érdesség a hordozó, és ezzel növeli a teljesítményét a szubsztrát felületén. A tisztító hatás elsősorban befolyásolja tényezők, mint a jellemzői a nyaláb, a fizikai paramétereit a szubsztrátum és a szennyeződés anyagot, és képes a szennyeződés energia elnyelésére a gerenda. Jelenleg a lézeres tisztítási technológia három tisztítási módszert foglal magában: száraz lézeres tisztítási technológiát, nedves lézeres tisztítási technológiát és lézeres plazma lökéshullám-technológiát. 1. A száraz lézeres tisztítás azt jelenti, hogy az impulzuslézert közvetlenül besugározzák a munkadarab tisztítása érdekében, így a hordozó vagy a felületi szennyeződések energiát nyelnek el, és a hőmérséklet emelkedik, ami a hordozó hőtágulását vagy hőrezgését eredményezi, ezáltal a kettő elválik. Ez a módszer nagyjából két helyzetre osztható: az egyik az, hogy a felületi szennyeződések elnyelik a lézert, hogy kitáguljanak; a másik az, hogy a hordozó elnyeli a lézert, hogy hőrezgést keltsen. 2. A nedves lézeres tisztítás a munkadarab impulzuslézerrel történő besugárzása előtt egy folyékony filmréteg előzetes bevonása a felületre. A lézer hatására a folyadékfilm hőmérséklete gyorsan megemelkedik és elpárolog. A párolgás pillanatában lökéshullám keletkezik, amely a szennyező részecskékre hat. , Leessen az aljzatról. Ez a módszer megköveteli, hogy a szubsztrátum és a folyadékfilm ne tudjon reagálni, ezért a felhasznált anyagok köre korlátozott. 3. A lézerplazma lökéshullám egy gömb alakú plazma lökéshullám, amelyet a levegő közeg lebontása hoz létre a lézeres besugárzási folyamat során. A lökéshullám a mosandó hordozó felületére hat, és energiát szabadít fel a szennyeződések eltávolítására; a lézer nem hat a hordozóra, így nem okoz kárt a hordozóban. A lézeres plazma lökéshullám-tisztító technológiája ma már több tíz nanométeres részecskeméretű szemcsés szennyeződéseket is képes megtisztítani, és a lézer hullámhossza nincs korlátozva. A tényleges gyártás során a különböző vizsgálati módszereket és a kapcsolódó paramétereket kifejezetten az igényeknek megfelelően kell kiválasztani, hogy kiváló minőségű tisztító munkadarabokat kapjunk. A lézeres tisztítási folyamatban a felülettisztítás hatékonysága és a minőségértékelés fontos mérőszámok a lézeres tisztítási technológia minőségének meghatározásához.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
